第157章 至少领先三代半？ (第2/4页)

我也是要用一台的，后面的光学掩膜器的生产，还是晶圆的生产，又或者是光刻机空气净化装置，都需要用到这个，所以，用我这边的经费，也算是提前支付了！至于知识产权，是您全程研发的，自然都是您的。”陈阳笑着说道。

    听到陈阳这样说，司徒静赶紧摆手！

    “陈教授，您误会了，关于知识产权，在这个项目前段时间递交立项的时候，这个项目负责人，我就写了您的名字，从最初的设想，到现在最终做成，您都有参与，并且在其中担任领导性决策，知识产权必须有您一份！”

    “不必不必！”陈阳推辞。

    “不行！虽然我知道您看不上，但是，偷人东西的事情，我做不出来，我宁愿不要这发明人的角色！也不希望别人来戳我脊梁骨！”司徒静说道。

    这芥子扫描显微镜，无论从最初的理论设计，再到中间关键技术的解决，都是陈阳在指导。

    按照当前研究的通用规则，这个知识产权全部都应该归属陈阳所有。

    最终陈阳答应了司徒静。

    “那我就却之不恭了！不过，以后若是有什么事情，还请你来去完成。比如领奖，研究合作什么的。”

    “好。您放心，只要不是不能解决的问题，保证不会去打扰您。”司徒静说道。

    送走了司徒静！

    陈阳回到办公室，再次看着手中的图纸！

    薄膜机，光刻机，蚀刻机！

    薄膜机相对技术含量较低，已经被突破，蚀刻机这次也已经全部突破，现在，就剩下光刻机了了！

    “晶圆，光刻胶，掩膜器，净化系统……”